新たな市場創出や社会ニーズに対応する技術開発を行う民間企業等です。

リソグラフィー・マスク関連分野、エッチング・CVD等のウエハプロセス関連分野、欠陥検査・計測装置関連分野に係る技術開発であって、補助事業終了後３年程度で実用化できる技術開発事業が対象となります。

事業に係る経費をNEDOが補助します。
〔補助金額〕 １件あたり２億円以内／年
〔補助期間〕 ３年以内
〔補助率〕 補助対象経費の1/2以内

1. NEDOに対し、補助金交付申請書を提出し応募
2. NEDO内に設置した外部学識経験者による審査委員会の評価・審査を経て、交付対象を決定
3. NEDOから、補助金交付
4. NEDOに対し、実績報告書を提出

NEDO：平成13年５月中旬〜６月中旬を予定しています。

NEDO研究開発業務部　研究業務室　TEL：03-3987-9326